Отрывок: Целью настоящей работы является создание модели износа катода источника низкотемпературной плазмы на основе высоковольтного газового разряда. Задачи, решаемые в работе: описание процесса распыления катода ИНТП положительными ионами; нанесения распыляемых атомов на поверхность изолирующих узлов; построение эквивалентных схем систем ИНТП, ИНТП-П-ОО. Объект исс...
Название : | Анализ метода импедансной спектроскопии плазмы |
Авторы/Редакторы : | Кутурин В. А. Колпаков В. А. Кричевский С. В. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Кутурин, В. А. Анализ метода импедансной спектроскопии плазмы / В. А. Кутурин, В. А. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 99-101. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-metoda-impedansnoi-spektroskopii-plazmy-97434 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\481346 |
Ключевые слова: | импедансная спектроскопия износ катода источник низкотемпературной плазмы моделирование |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903-943-17-3_2022-99-101.pdf | 179.6 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.