Отрывок: Целью настоящей работы является создание модели износа катода источника низкотемпературной плазмы на основе высоковольтного газового разряда. Задачи, решаемые в работе: описание процесса распыления катода ИНТП положительными ионами; нанесения распыляемых атомов на поверхность изолирующих узлов; построение эквивалентных схем систем ИНТП, ИНТП-П-ОО. Объект исс...
Название : Анализ метода импедансной спектроскопии плазмы
Авторы/Редакторы : Кутурин В. А.
Колпаков В. А.
Кричевский С. В.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Кутурин, В. А. Анализ метода импедансной спектроскопии плазмы / В. А. Кутурин, В. А. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 99-101.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-metoda-impedansnoi-spektroskopii-plazmy-97434
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\481346
Ключевые слова: импедансная спектроскопия
износ катода
источник низкотемпературной плазмы
моделирование
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-99-101.pdf179.6 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.