Отрывок: В наибольшей степени этим требованиям удовлетворяют биметалли­ ческие маски, основой которых являются медь, ее сплавы (латунь, брон­ за) , а также специальные сорта стали. На основу после термообработки и очист...
Название : Изучение технологии напыления тонких пленок
Авторы/Редакторы : Волков А. В.
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
Дата публикации : 1983
Библиографическое описание : Изучение технологии напыления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 2. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Волков. - Куйбышев, 1983. - 1 файл (342,87 Кб)
Аннотация : Гриф.
Используемые программы: Adobe Acrobat.
Описывается технология получения тонких пленок методом термовакуумного напыления. Рассматриваются особенности напыления резистивных, диэлектрических и проводящих материалов и способы получения пленок заданной конфигурации. Проводится анализ связи технологического процесса напыления и параметров тонкопленочных элементов. Рекомендуется для студентов специальности 0701.
Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-napyleniya-tonkih-plenok-92716
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\470497
Ключевые слова: методические материалы
термовакуумное напыление
технология напыления
тонкие пленки
тонкопленочное напыление
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Волков А.В. Изучение 1983.pdf342.87 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.