Отрывок: В наибольшей степени этим требованиям удовлетворяют биметалли ческие маски, основой которых являются медь, ее сплавы (латунь, брон за) , а также специальные сорта стали. На основу после термообработки и очист...
Название : | Изучение технологии напыления тонких пленок |
Авторы/Редакторы : | Волков А. В. Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1983 |
Библиографическое описание : | Изучение технологии напыления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 2. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Волков. - Куйбышев, 1983. - 1 файл (342,87 Кб) |
Аннотация : | Гриф. Используемые программы: Adobe Acrobat. Описывается технология получения тонких пленок методом термовакуумного напыления. Рассматриваются особенности напыления резистивных, диэлектрических и проводящих материалов и способы получения пленок заданной конфигурации. Проводится анализ связи технологического процесса напыления и параметров тонкопленочных элементов. Рекомендуется для студентов специальности 0701. Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-napyleniya-tonkih-plenok-92716 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470497 |
Ключевые слова: | методические материалы термовакуумное напыление технология напыления тонкие пленки тонкопленочное напыление |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Волков А.В. Изучение 1983.pdf | 342.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.