Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Теоретически Сказана возможность существования потока пустот атомного размера вакансий") в объеме жидкой фазы алюминия (маски) при облучении его )верхности отрицательно заряженными частицами ГРВТ с энергией до 6 >В. Температура А1 определялась микропирометром типа "Проминъ", держание Si в А1 методом взвешивания и рентгеновским щюанализатором МАР...

Название :	Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы
Авторы/Редакторы :	Скороходов И. Ф. Колпаков В. А. Колпаков А. И.
Дата публикации :	2009
Библиографическое описание :	Скороходов, И. Ф. Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы / И. Ф. Скороходов, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - Ч. 2. - С. 36-37.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizmov-vzaimodeistviya-atomov-kremniya-i-aluminiya-pri-bombardirovke-poverhnosti-zhidkoi-fazy-metalla-chasticami-vneelektrodnoi-plazmy-111100
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\559473
Ключевые слова:	дифракционные оптические элементы ионно-электронный поток внеэлектродная плазма плазмохимическое травление кремниевые подложки литография механизм взаимодействия атомов формирование дифракционного микрорельефа
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.