Отрывок: Теоретически Сказана возможность существования потока пустот атомного размера вакансий") в объеме жидкой фазы алюминия (маски) при облучении его )верхности отрицательно заряженными частицами ГРВТ с энергией до 6 >В. Температура А1 определялась микропирометром типа "Проминъ", держание Si в А1 методом взвешивания и рентгеновским щюанализатором МАР...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСкороходов И. Ф.ru
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialионно-электронный потокru
dc.coverage.spatialвнеэлектродная плазмаru
dc.coverage.spatialплазмохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialкремниевые подложкиru
dc.coverage.spatialлитографияru
dc.coverage.spatialмеханизм взаимодействия атомовru
dc.coverage.spatialформирование дифракционного микрорельефаru
dc.creatorСкороходов И. Ф., Колпаков В. А., Колпаков А. И.ru
dc.date.accessioned2024-10-03 10:24:11-
dc.date.available2024-10-03 10:24:11-
dc.date.issued2009ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\559473ru
dc.identifier.citationСкороходов, И. Ф. Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы / И. Ф. Скороходов, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - Ч. 2. - С. 36-37.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizmov-vzaimodeistviya-atomov-kremniya-i-aluminiya-pri-bombardirovke-poverhnosti-zhidkoi-fazy-metalla-chasticami-vneelektrodnoi-plazmy-111100-
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронныйru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - Ч. 2ru
dc.titleИсследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмыru
dc.typeTextru
dc.citation.epage37ru
dc.citation.spage36ru
dc.textpartТеоретически Сказана возможность существования потока пустот атомного размера вакансий") в объеме жидкой фазы алюминия (маски) при облучении его )верхности отрицательно заряженными частицами ГРВТ с энергией до 6 >В. Температура А1 определялась микропирометром типа "Проминъ", держание Si в А1 методом взвешивания и рентгеновским щюанализатором МАР...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0672-8_2009-36-37.pdf99.2 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.