Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Применением стандартных методов фотолитографии на поверхности кремния изготовляли маску периодической решетки с периодом Т= 12 мкм, состоящую из полосок алюминия шириной Ь = 6 мкм и толщиной h = 0,15-0,2 мкм. Для проведения металлографических исследований в работе применялись и структуры с толщиной алюминия И = 4 мкм. Выполнение h « Ь, где Ь - ширина штриха маски, и действие сил поверхностного натяжения на границе раздела жидкий алюмини...

Название :	Исследование механизма аномального растворения кремния в расплаве алюминия при облучении его поверхности потоком низкотемпературной плазмы
Авторы/Редакторы :	Колпаков В. А. Колпаков А. И. Скоморохов И. Ф.
Дата публикации :	2010
Библиографическое описание :	Колпаков, В. А. Исследование механизма аномального растворения кремния в расплаве алюминия при облучении его поверхности потоком низкотемпературной плазмы / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, И. Ф. Скоморохов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 25-27 мая 2010 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2010. - С. 35-36.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizma-anomalnogo-rastvoreniya-kremniya-v-rasplave-aluminiya-pri-obluchenii-ego-poverhnosti-potokom-nizkotemperaturnoi-plazmy-111002
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\559661
Ключевые слова:	эффект аномально высокой растворимости расплав алюминия облучение низкотемпературной плазмой параметры газового разряда механизм растворения кремния аналитическое описание
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.