Отрывок: Применением стандартных методов фотолитографии на поверхности кремния изготовляли маску периодической решетки с периодом Т= 12 мкм, состоящую из полосок алюминия шириной Ь = 6 мкм и толщиной h = 0,15-0,2 мкм. Для проведения металлографических исследований в работе применялись и структуры с толщиной алюминия И = 4 мкм. Выполнение h « Ь, где Ь - ширина штриха маски, и действие сил поверхностного натяжения на границе раздела жидкий алюмини...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.contributor.authorСкоморохов И. Ф.ru
dc.coverage.spatialэффект аномально высокой растворимостиru
dc.coverage.spatialрасплав алюминияru
dc.coverage.spatialоблучение низкотемпературной плазмойru
dc.coverage.spatialпараметры газового разрядаru
dc.coverage.spatialмеханизм растворения кремнияru
dc.coverage.spatialаналитическое описаниеru
dc.creatorКолпаков В. А., Колпаков А. И., Скоморохов И. Ф.ru
dc.date.accessioned2024-10-03 09:56:28-
dc.date.available2024-10-03 09:56:28-
dc.date.issued2010ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\559661ru
dc.identifier.citationКолпаков, В. А. Исследование механизма аномального растворения кремния в расплаве алюминия при облучении его поверхности потоком низкотемпературной плазмы / В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, И. Ф. Скоморохов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 25-27 мая 2010 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2010. - С. 35-36.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizma-anomalnogo-rastvoreniya-kremniya-v-rasplave-aluminiya-pri-obluchenii-ego-poverhnosti-potokom-nizkotemperaturnoi-plazmy-111002-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 25-27 мая 2010 г. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование механизма аномального растворения кремния в расплаве алюминия при облучении его поверхности потоком низкотемпературной плазмыru
dc.typeTextru
dc.citation.epage36ru
dc.citation.spage35ru
dc.textpartПрименением стандартных методов фотолитографии на поверхности кремния изготовляли маску периодической решетки с периодом Т= 12 мкм, состоящую из полосок алюминия шириной Ь = 6 мкм и толщиной h = 0,15-0,2 мкм. Для проведения металлографических исследований в работе применялись и структуры с толщиной алюминия И = 4 мкм. Выполнение h « Ь, где Ь - ширина штриха маски, и действие сил поверхностного натяжения на границе раздела жидкий алюмини...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0819-7_2010-35-36.pdf94.41 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.