Отрывок: Детальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно...
Название : Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком
Авторы/Редакторы : Кропотов М. С.
Шалимова М. Б.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Естественнонаучный институт
Дата публикации : 2021
Библиографическое описание : Кропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-line
Аннотация : Объектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20210924140644
Ключевые слова: германий
затворные high-k диэлектрики
МДП-устройства
полевые транзисторы
полупроводниковые устройства
соединения редкоземельных элементов
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf2.33 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.