Отрывок: Детальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКропотов М. С.ru
dc.contributor.authorШалимова М. Б.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorЕстественнонаучный институтru
dc.coverage.spatialгерманийru
dc.coverage.spatialзатворные high-k диэлектрикиru
dc.coverage.spatialМДП-устройстваru
dc.coverage.spatialполевые транзисторыru
dc.coverage.spatialполупроводниковые устройстваru
dc.coverage.spatialсоединения редкоземельных элементовru
dc.creatorКропотов М. С.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210924140644ru
dc.identifier.citationКропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,3 Мб)ru
dc.titleВопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектрикомru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.33.29ru
dc.subject.udc621.382ru
dc.textpartДетальные исследования с помощью рентгеновской фотоэлектронной микро- скопии и ионной спектроскопии средних энергий показывают, что межфаз- ный слой состоит из GeO2, а его толщина составляет около 0,3 нм [69]. Со- гласованные результаты различных групп, независимо от методов осаждения high-k диэлектриков, предполагают, что это можно объяснить внутренними свойствами, связанными с термодинамической нестабильно...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf2.33 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.