Отрывок: Для примера при травлении пленки диоксида кремния SiO2, напыленного на подложку из кремния Si, часто применяются водные растворы фтороводородной кислоты. Отношение скоростей травления диоксида кремния кремнию в таких растворах составляет приблизительно 1 к 100. То есть за время травления 100 нм диоксида кремния подложка из кремния будет подтравлена только на 1 нм [16]. Селективность является важным параметром для жидкостного травления, потому что х...
Название : | Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала |
Авторы/Редакторы : | Миненков П. И. Агафонов А. Н. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Миненков, П. И. Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / П. И. Миненков ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Цель работы: изучение зависимости влияния различных режимов локального жидкостного травления на формирование получаемых микроканалов. Исходя из поставленной цели, были сформулированы следующие задачи: 1) Анализ современных методов формирования микрорельефов в стеклянных подложках. 2) Изучение особенностей проведения процесса жидкостного химического травления. 3) Изучение факторов, определяющих режимы травления. 4) Экспериментальные исследования влияния режимов жидкостного травления на профиль формируемого микроканала. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808094959 |
Ключевые слова: | селективность изотропное травление предметное стекло фотолитография дефекты травление микрорельефы микрофлюидные чипы неровности поверхности |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Миненков_Павел_Игоревич_Влияние_режимов_локального_жидкостного.pdf | 1.84 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.