Отрывок: Для примера при травлении пленки диоксида кремния SiO2, напыленного на подложку из кремния Si, часто применяются водные растворы фтороводородной кислоты. Отношение скоростей травления диоксида кремния кремнию в таких растворах составляет приблизительно 1 к 100. То есть за время травления 100 нм диоксида кремния подложка из кремния будет подтравлена только на 1 нм [16]. Селективность является важным параметром для жидкостного травления, потому что х...
Название : Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала
Авторы/Редакторы : Миненков П. И.
Агафонов А. Н.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Миненков, П. И. Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / П. И. Миненков ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : Цель работы: изучение зависимости влияния различных режимов локального жидкостного травления на формирование получаемых микроканалов. Исходя из поставленной цели, были сформулированы следующие задачи: 1) Анализ современных методов формирования микрорельефов в стеклянных подложках. 2) Изучение особенностей проведения процесса жидкостного химического травления. 3) Изучение факторов, определяющих режимы травления. 4) Экспериментальные исследования влияния режимов жидкостного травления на профиль формируемого микроканала.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808094959
Ключевые слова: селективность
изотропное травление
предметное стекло
фотолитография
дефекты
травление
микрорельефы
микрофлюидные чипы
неровности поверхности
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Миненков_Павел_Игоревич_Влияние_режимов_локального_жидкостного.pdf1.84 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.