Отрывок: 21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с...
Название : Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок
Авторы/Редакторы : Лобачева А. И.
Агафонов А. Н.
Пиганов М. Н.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Лобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
Аннотация : Объектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.В
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133143
Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление
оксид индий-олово
прозрачные токопроводящие пленки
четырехзондовый метод измерения
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Лобачева_Анастасия_Игоревна_Технология_изготовления_электрические.pdf3.28 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.