Отрывок: 21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЛобачева А. И.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorПиганов М. Н.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialреактивное магнетронное распылениеru
dc.coverage.spatialоксид индий-оловоru
dc.coverage.spatialпрозрачные токопроводящие пленкиru
dc.coverage.spatialчетырехзондовый метод измеренияru
dc.creatorЛобачева А. И.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133143ru
dc.identifier.citationЛобачева, А. И. Технология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленок : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. И. Лобачева ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования настоящей работы являются тонкие пленки оксида индий-олова, полученные методом реактивного магнетронного распыления.Цель работы – получить тонкие пленки оксида индия-олова и экспериментально исследовать их электрические свойства.Вru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 3,2 Мб)ru
dc.titleТехнология изготовления и электрические свойства прозрачных токопроводящих пленокru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.01ru
dc.subject.udc537.5ru
dc.textpart21 Рисунок 7 – Фрагмент топологии управляемой дифракционной решетки После экспонирования было проведено проявления резиста проявителем УПФ-1Б в течении 10 сек, затем осуществлены промывка дистиллированной водой и сушка потоком осушенного воздуха до исчезновения с...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Лобачева_Анастасия_Игоревна_Технология_изготовления_электрические.pdf3.28 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.