Отрывок: Благодаря высокой селективности и возможности проведения травления без использования пониженных температур, на сегодняшний день Bosch- процесс является самым оптимальным для формирования на кремниевых подложках вертикальных структур глубиной порядка сотен микрон. 21 2 Технологические процессы очистки поверхности полупроводниковых пласти...
Название : Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики
Авторы/Редакторы : Михайлов Д. С.
Павельев В. С.
Полетаев С. Д.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Михайлов, Д. С. Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. С. Михайлов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эл. - Самара, 2018. - on-line
Аннотация : В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами анизотропного плазмохимического травления.Цель работы – получение трехуровневого рельефа в кремниевой подложке методом глубокого анизотропного плазмохимического травления.Рассмотрены достоинс
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133421
Ключевые слова: BOSCH процессы
дифракционная оптика
источник индуктивно-связанной плазмы
анизотропное травление кремнием
плазмохимическое травление
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Михайлов_Дмитрий_Сергеевич_Разработка_технологии_изготовления_трехуровневого.pdf1.55 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.