Отрывок: Рисунок 14 – Схема установки ионно-плазменного травления где 1-Вакуумная камера; 2-Клапан напуска аргона; 3-Катод с установленными мишенями; 4-Анод; 5-Плазма тлеющего разряда. 2.Ионно-лучевое травление: Подложка помещается на столик, откачивается атмосфера в камере, напускается Ar (0,1 Па). Подключается термокатод, и, вследствие бомбардировки ионами высокой энергии возн...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Самсонов О. О. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Пиганов М. Н. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | МЭМС технология | ru |
dc.coverage.spatial | микроэлектромеханические системы | ru |
dc.coverage.spatial | гироскопы | ru |
dc.coverage.spatial | травление | ru |
dc.coverage.spatial | экспонирование | ru |
dc.creator | Самсонов О. О. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180716142743 | ru |
dc.identifier.citation | Самсонов, О. О. Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / О. О. Самсонов ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является МЭМС гироскоп, выполненный в SOI структуре с размерами: толщина несущего слоя - 400 мкм, толщина оксидного слоя - 10 мкм, толщина слоя поликремния - 12 мкм, разработка технологии изготовления данного устройства, а так же разработка методики исследования МЭМС гироскопа и анализ полученных результатов. Цель работы – разработка технологии и исследование МЭМС гироскопа. В данной работе была рассмотрена МЭМС технология, ее особенности и преимущества, некоторые устройства, которые изготавливаются по этой технологии, в частности, гироскопы. Рассмотрены методы производства МЭМС гироскопа, такие как: литография, экспонирование и травление. Была разработана технология изготовления МЭМС гироскопа, которая включала в себя: RCA обработку, оптическую литографию, экспонирование в ультрафиолетовой лампе, травление с использованием Bosch процесса и процесс освобождения. В результате эксперимента были выявлены нужные параметры данных процессов, получен требуемый образец МЭМС гироскопа, сделаны ег | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 3,2 Мб) | ru |
dc.title | Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.09 | ru |
dc.subject.udc | 621.38 | ru |
dc.textpart | Рисунок 14 – Схема установки ионно-плазменного травления где 1-Вакуумная камера; 2-Клапан напуска аргона; 3-Катод с установленными мишенями; 4-Анод; 5-Плазма тлеющего разряда. 2.Ионно-лучевое травление: Подложка помещается на столик, откачивается атмосфера в камере, напускается Ar (0,1 Па). Подключается термокатод, и, вследствие бомбардировки ионами высокой энергии возн... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Самсонов_Олег_Олегович_Разработка_технологии_изготовления_микроэлектромеханических.pdf | 3.25 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.