Отрывок: Медь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос...
Название : | Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора |
Авторы/Редакторы : | Гуреев Н. М. Агафонов А. Н. Шишкина Д. А. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Гуреев, Н. М. Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. М. Гуреев ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является технология и методы изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР).Целью работы является разработка технологии изготовленияи исследование характеристик тонкопленочного резистора.В ходе работы проведен анализ источников по теме исследования.Предложена конструкция тонкопленочного резистора со ступенчатойподгонкой, в которой резистор дополнительно замкнут перемычкой.Произведен выбор необходимых материалов для изготовления ТПР высокойточности. Произведен расчет и конструирование данного радиоэлектронногоэлемента. Предложен технологический процесс методом двойнойфотолитографии. Изготовлен и исследован высокоточный тонкопленочныйрезистор.Практическая значимость работы заключается в составлении полноготехнологического маршрута, разработка и изготовление точноготонкопленочного резистора. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914105614 |
Ключевые слова: | магнетронное напыление технология изготовления тонкопленочные резисторы повышенной точности фотолитография |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гуреев_Николай_Михайлович_Разработка_технологии_изготовления.pdf | 1.47 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.