Отрывок: Медь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос...
Название : Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора
Авторы/Редакторы : Гуреев Н. М.
Агафонов А. Н.
Шишкина Д. А.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2021
Библиографическое описание : Гуреев, Н. М. Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. М. Гуреев ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является технология и методы изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР).Целью работы является разработка технологии изготовленияи исследование характеристик тонкопленочного резистора.В ходе работы проведен анализ источников по теме исследования.Предложена конструкция тонкопленочного резистора со ступенчатойподгонкой, в которой резистор дополнительно замкнут перемычкой.Произведен выбор необходимых материалов для изготовления ТПР высокойточности. Произведен расчет и конструирование данного радиоэлектронногоэлемента. Предложен технологический процесс методом двойнойфотолитографии. Изготовлен и исследован высокоточный тонкопленочныйрезистор.Практическая значимость работы заключается в составлении полноготехнологического маршрута, разработка и изготовление точноготонкопленочного резистора.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914105614
Ключевые слова: магнетронное напыление
технология изготовления
тонкопленочные резисторы повышенной точности
фотолитография
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гуреев_Николай_Михайлович_Разработка_технологии_изготовления.pdf1.47 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.