Отрывок: Медь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гуреев Н. М. | ru |
dc.contributor.author | Агафонов А. Н. | ru |
dc.contributor.author | Шишкина Д. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное напыление | ru |
dc.coverage.spatial | технология изготовления | ru |
dc.coverage.spatial | тонкопленочные резисторы повышенной точности | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.creator | Гуреев Н. М. | ru |
dc.date.issued | 2021 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914105614 | ru |
dc.identifier.citation | Гуреев, Н. М. Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. М. Гуреев ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является технология и методы изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР).Целью работы является разработка технологии изготовленияи исследование характеристик тонкопленочного резистора.В ходе работы проведен анализ источников по теме исследования.Предложена конструкция тонкопленочного резистора со ступенчатойподгонкой, в которой резистор дополнительно замкнут перемычкой.Произведен выбор необходимых материалов для изготовления ТПР высокойточности. Произведен расчет и конструирование данного радиоэлектронногоэлемента. Предложен технологический процесс методом двойнойфотолитографии. Изготовлен и исследован высокоточный тонкопленочныйрезистор.Практическая значимость работы заключается в составлении полноготехнологического маршрута, разработка и изготовление точноготонкопленочного резистора. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,4 Мб) | ru |
dc.title | Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.61 | ru |
dc.subject.udc | 621.316.8 | ru |
dc.textpart | Медь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гуреев_Николай_Михайлович_Разработка_технологии_изготовления.pdf | 1.47 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.