Отрывок: Медь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГуреев Н. М.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorШишкина Д. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialмагнетронное напылениеru
dc.coverage.spatialтехнология изготовленияru
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы повышенной точностиru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.creatorГуреев Н. М.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914105614ru
dc.identifier.citationГуреев, Н. М. Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистора : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. М. Гуреев ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является технология и методы изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР).Целью работы является разработка технологии изготовленияи исследование характеристик тонкопленочного резистора.В ходе работы проведен анализ источников по теме исследования.Предложена конструкция тонкопленочного резистора со ступенчатойподгонкой, в которой резистор дополнительно замкнут перемычкой.Произведен выбор необходимых материалов для изготовления ТПР высокойточности. Произведен расчет и конструирование данного радиоэлектронногоэлемента. Предложен технологический процесс методом двойнойфотолитографии. Изготовлен и исследован высокоточный тонкопленочныйрезистор.Практическая значимость работы заключается в составлении полноготехнологического маршрута, разработка и изготовление точноготонкопленочного резистора.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,4 Мб)ru
dc.titleРазработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистораru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.61ru
dc.subject.udc621.316.8ru
dc.textpartМедь по свойствам имеет схожесть с серебром (Ag) и поэтому сохраняет присущий серебру (Ag) недостаток – высокая миграционная подвижность. Несмотря на это, медь (Cu) обладает рядом преимуществ: 1) малое удельное сопротивление (второе место после серебра (Ag)), 2) достаточно высокую механическую прочнос...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гуреев_Николай_Михайлович_Разработка_технологии_изготовления.pdf1.47 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.