Отрывок: Из выражения (18) видно, что чем больше углы � и � (угол конденсации и испарения соответственно), тем меньше толщина получаемого покрытия в данной точке [5]. 15 2 Методы устранения причин возникновения неравномерности толщины тонкопленочного покрытия 2.1 Создание источника сложной формы Помимо создания более высокой степени вакуума и уменьшения расстояния от подложки до источника, разработаны другие конструктивные решения, позволяющие снизить влияния эффекта...
Название : Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки
Авторы/Редакторы : Азаров А. В.
Козлова И. Н.
Филиппов С. Б.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Азаров, А. В. Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Азаров ; рук. работы И. Н. Козлова; рец. С. Б. Филиппов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2018. - on-line
Аннотация : В данной работе рассматриваются проблемы, связанные с равномерным нанесением тонкопленочных покрытий.Цель работы – разработать математическую модель для расчета профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия в системе с перемещением подложки по планетарной траектории.Центральным моментом работы явилась математическая модель распределения тонкопленочного покрытия при напылении ее в системе с планетарным перемещением подложки.В результате анализа профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия, полученного при моделировании, установлено, что в исследуемой системе коэффициент равномерности оказался выше на 0,04, чем в системе с неподвижной подложкой.Данная работа будет интересна студентам и аспирантам, чьи направления связаны с тонкопленочными технологиями и установками для их получения.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180720130443
Ключевые слова: распределение толщины тонкопленочного покрытия
планетарные системы перемещения подложки
физико-математические модели
тонкопленочные покрытия
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.