Отрывок: Из выражения (18) видно, что чем больше углы � и � (угол конденсации и испарения соответственно), тем меньше толщина получаемого покрытия в данной точке [5]. 15 2 Методы устранения причин возникновения неравномерности толщины тонкопленочного покрытия 2.1 Создание источника сложной формы Помимо создания более высокой степени вакуума и уменьшения расстояния от подложки до источника, разработаны другие конструктивные решения, позволяющие снизить влияния эффекта...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАзаров А. В.ru
dc.contributor.authorКозлова И. Н.ru
dc.contributor.authorФилиппов С. Б.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialраспределение толщины тонкопленочного покрытияru
dc.coverage.spatialпланетарные системы перемещения подложкиru
dc.coverage.spatialфизико-математические моделиru
dc.coverage.spatialтонкопленочные покрытияru
dc.creatorАзаров А. В.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180720130443ru
dc.identifier.citationАзаров, А. В. Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Азаров ; рук. работы И. Н. Козлова; рец. С. Б. Филиппов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются проблемы, связанные с равномерным нанесением тонкопленочных покрытий.Цель работы – разработать математическую модель для расчета профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия в системе с перемещением подложки по планетарной траектории.Центральным моментом работы явилась математическая модель распределения тонкопленочного покрытия при напылении ее в системе с планетарным перемещением подложки.В результате анализа профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия, полученного при моделировании, установлено, что в исследуемой системе коэффициент равномерности оказался выше на 0,04, чем в системе с неподвижной подложкой.Данная работа будет интересна студентам и аспирантам, чьи направления связаны с тонкопленочными технологиями и установками для их получения.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,4 Мб)ru
dc.titleРазработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложкиru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.33.37ru
dc.subject.udc621.383ru
dc.textpartИз выражения (18) видно, что чем больше углы � и � (угол конденсации и испарения соответственно), тем меньше толщина получаемого покрытия в данной точке [5]. 15 2 Методы устранения причин возникновения неравномерности толщины тонкопленочного покрытия 2.1 Создание источника сложной формы Помимо создания более высокой степени вакуума и уменьшения расстояния от подложки до источника, разработаны другие конструктивные решения, позволяющие снизить влияния эффекта...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Азаров_Андрей_Владимирович_Разработка_физико_математической_модели.pdf1.43 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.