Отрывок: Для изготовления пресс-формы используются металлы, полупроводники и диэлектрики, как правило, применяя метод электронной литографии. Рисунок 7 - Схема нанопечатной литографии (остатки резиста на вдавленных участках анизотропно вытравливаются): 1 - подложка, 2 - резист, 3 - штамп Метод нанопечатной литографии лишён основных проблем других литографических методов, таких как эффекты близости, диффузионный предел, а та...
Название : Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления
Авторы/Редакторы : Хоробров В. С.
Паранин В. Д.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Хоробров, В. С. Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. С. Хоробров ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2020. - on-line
Аннотация : Проведён поиск необходимой литературы в области микро- и нанотехнологий. Обоснована целесообразность использования конкретных методов травления и литографии для проведения технологического процесса. Проведена оптимизация технологического процесса сухого травления приповерхностного слоя кремния. В ходе ВКР была получена технология прямого литографического процесса с высоким разрешением и возможностью создания квазинепрерывного профиля, позволяющая производить быстрое прототипирование устройств в приповерхностном слое кремния.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20200914152041
Ключевые слова: технологические процессы
электронная литография
шаблон
BOSCH процессы
кремниевая подложка
маска
маскирующие покрытия
сухое травление
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.