Репозиторий Самарского университета
Отрывок: Химические реакции с образованием легко летучих соединений; 5. Десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную систему вакуумной установки. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 10. Рисунок 10 – Схема плазмохимического травления Основные рабочие параметры, которые определяют характеристики процесса плазменного травления: 1. ...
| Название : | Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазона |
| Авторы/Редакторы : | Иванова Т. А. Павельев В. С. Лизункова Д. А. Министерство образования и науки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
| Дата публикации : | 2020 |
| Библиографическое описание : | Иванова, Т. А. Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. А. Иванова ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер Д. А. Лизункова ; Минобрнауки России, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т), Ин-т информа. - Самара, 2020. - on-line |
| Аннотация : | Объектом исследования являются методы создания многопорядковых делителей лазерного пучка. Цель работы – оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Задачи: 1. Анализ методов расчета дифракционных оптических элементов; 2. Анализ технологий изготовления дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона; 3. Оптимизация и моделирование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона; 4. Исследование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Рассчитан и исследован методами компьютерного моделирования отражающий дифракционный делитель 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Результаты численного моделирования и исследования находятся во взаимном качественном соответствии. |
| Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20200625141443 |
| Ключевые слова: | многопорядковые дифракционные делители фотолитография периодическая структура преобразование Фурье пучки лазера инфракрасного диапазона энергетическая эффективность генетический алгоритм дифракционные оптические элементы (ДОЭ) |
| Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| Иванова_Татьяна_Анатольевна_Оптимизация_исследование_многопорядкового.pdf | 1.26 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.