Отрывок: Химические реакции с образованием легко летучих соединений; 5. Десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную систему вакуумной установки. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 10. Рисунок 10 – Схема плазмохимического травления Основные рабочие параметры, которые определяют характеристики процесса плазменного травления: 1. ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorИванова Т. А.ru
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorЛизункова Д. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialмногопорядковые дифракционные делителиru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.coverage.spatialпериодическая структураru
dc.coverage.spatialпреобразование Фурьеru
dc.coverage.spatialпучки лазера инфракрасного диапазонаru
dc.coverage.spatialэнергетическая эффективностьru
dc.coverage.spatialгенетический алгоритмru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы (ДОЭ)ru
dc.creatorИванова Т. А.ru
dc.date.issued2020ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20200625141443ru
dc.identifier.citationИванова, Т. А. Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. А. Иванова ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер Д. А. Лизункова ; Минобрнауки России, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т), Ин-т информа. - Самара, 2020. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования являются методы создания многопорядковых делителей лазерного пучка. Цель работы – оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Задачи: 1. Анализ методов расчета дифракционных оптических элементов; 2. Анализ технологий изготовления дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона; 3. Оптимизация и моделирование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона; 4. Исследование многопорядкового делителя 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Рассчитан и исследован методами компьютерного моделирования отражающий дифракционный делитель 5х5 пучка лазера инфракрасного диапазона. Результаты численного моделирования и исследования находятся во взаимном качественном соответствии.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,2 Мб)ru
dc.titleОптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазонаru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.33ru
dc.subject.udc621.373.8ru
dc.textpartХимические реакции с образованием легко летучих соединений; 5. Десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную систему вакуумной установки. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 10. Рисунок 10 – Схема плазмохимического травления Основные рабочие параметры, которые определяют характеристики процесса плазменного травления: 1. ...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Иванова_Татьяна_Анатольевна_Оптимизация_исследование_многопорядкового.pdf1.26 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.