Отрывок: Таким образом, происходит формирование трехмерных структур - 3D-структур. 19 Плазмохимическое травление проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда. Плазмохимическое травление имеет химическую природу. Оно основано на использовании обладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Схема реактора плазмохимического травления представлена на рисунке 4. Рисунок 4 – С...
Название : Оптические свойства наноструктурированного кремния
Авторы/Редакторы : Безмельницин Д. С.
Карпеев С. В.
преподаватель Лизункова Д.А. с.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Безмельницин, Д. С. Оптические свойства наноструктурированного кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Д. С. Безмельницин ; рук. работы С. В. Карпеев, Лизункова Д. А. ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т. - Самара, 2020. - on-line
Аннотация : Объектом исследования являются структуры с кремниевыми нанонитями и пористым кремнием, изготовленные при различных временах травления. Целью работы является исследование зависимости оптических свойств от геометрических параметров нанокристаллического кремния. Результаты данной дипломной работы могут быть использованы для разработки оптоэлектронных устройств на основе нанокристаллического кремния
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20200625132529
Ключевые слова: электрохимическое травление
пористый кремний
оптические свойства
коэффициент отражения
кремниевые нанонити
наноструктурированный кремний
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Безмельницин_Дмитрий_Сергеевич_Оптические_свойства_наноструктурированного_кремния.pdf1.34 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.