Отрывок: Таким образом, происходит формирование трехмерных структур - 3D-структур. 19 Плазмохимическое травление проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда. Плазмохимическое травление имеет химическую природу. Оно основано на использовании обладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Схема реактора плазмохимического травления представлена на рисунке 4. Рисунок 4 – С...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorБезмельницин Д. С.ru
dc.contributor.authorКарпеев С. В.ru
dc.contributor.authorпреподаватель Лизункова Д.А. с.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialэлектрохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialпористый кремнийru
dc.coverage.spatialоптические свойстваru
dc.coverage.spatialкоэффициент отраженияru
dc.coverage.spatialкремниевые нанонитиru
dc.coverage.spatialнаноструктурированный кремнийru
dc.creatorБезмельницин Д. С.ru
dc.date.issued2020ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20200625132529ru
dc.identifier.citationБезмельницин, Д. С. Оптические свойства наноструктурированного кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Д. С. Безмельницин ; рук. работы С. В. Карпеев, Лизункова Д. А. ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т. - Самара, 2020. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования являются структуры с кремниевыми нанонитями и пористым кремнием, изготовленные при различных временах травления. Целью работы является исследование зависимости оптических свойств от геометрических параметров нанокристаллического кремния. Результаты данной дипломной работы могут быть использованы для разработки оптоэлектронных устройств на основе нанокристаллического кремнияru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,3 Мб)ru
dc.titleОптические свойства наноструктурированного кремнияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.33.33ru
dc.subject.udc621.383ru
dc.textpartТаким образом, происходит формирование трехмерных структур - 3D-структур. 19 Плазмохимическое травление проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда. Плазмохимическое травление имеет химическую природу. Оно основано на использовании обладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Схема реактора плазмохимического травления представлена на рисунке 4. Рисунок 4 – С...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Безмельницин_Дмитрий_Сергеевич_Оптические_свойства_наноструктурированного_кремния.pdf1.34 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.