Отрывок: В области кремния вследствие сдвига исходного распределения на отрезок d2 - d1 - распределение имеет вид N 2 (x) = Q d i ^ ARp 2 exp ( x + (d2 - d1 ) - R p2 ) 2 2 ( A R p 2 ) 2 Q ^ M p 2 exp xr t \ ARp212d1 + (d1- Rp1 ) A^R- p1 p 2 2 , x > d1 (18) Погрешность аппроксимации распределения во втором слое составляет величину R 2 - R 1p2 p1 ARp2 AR П = p1R (19) p2 —00 —00 16 Если имплантируется структура с кремниевой подложкой противоположного типа проводимости по отношени...
Название : Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах
Авторы/Редакторы : Макаров И. А.
Козлова И. Н.
Министерство образования и науки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Макаров, И. А. Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. А. Макаров ; рук. работы И. Н. Козлова ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т электроники и приборостроен. - Самара, 2020. - on-line
Аннотация : В настоящей работе проводится изучение некоторых методов ионной имплантации примесей в многослойные структуры. Дается обзор принципов технологии имплантации ионов в структуру твердого тела, приводятсянекоторые популярные методы расчета распределения концентрации примеси. В работе также демонстрируются расчеты распределения концентрации имплантированных ионов бора в двух- и трехслойную структуру на основе кремния, полученные по методу Монте-Карло и методуподбора доз.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20210218154403
Ключевые слова: ионная имплантация
ионно-имплантированные примеси
метод подбора доз
метод Монте-Карло
многослойные структуры
легирование
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Макаров_Илья_Андреевич_Моделирование_профилей_распределения_ионно.pdf393.72 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.