Отрывок: Графитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород...
Название : Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния
Авторы/Редакторы : Шишкин И. А.
Латухина Н. В.
Министерство образования и науки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Естественнонаучный институт
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Шишкин, И. А. Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / И. А. Шишкин ; рук. работы Н. В. Латухина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. сист. - Самара, 2020. - on-line
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20201126114555
Ключевые слова: фоточувствительные структуры
пористый кремний
универсальная электрохимическая ячейка
COMSOL Multiphysics
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Шишкин_Иван_Александрович_Моделирование_процесса_изготовления_фоточувствительных.pdf19.25 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.