Отрывок: Графитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorШишкин И. А.ru
dc.contributor.authorЛатухина Н. В.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorЕстественнонаучный институтru
dc.coverage.spatialфоточувствительные структурыru
dc.coverage.spatialпористый кремнийru
dc.coverage.spatialуниверсальная электрохимическая ячейкаru
dc.coverage.spatialCOMSOL Multiphysicsru
dc.creatorШишкин И. А.ru
dc.date.issued2020ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20201126114555ru
dc.identifier.citationШишкин, И. А. Моделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / И. А. Шишкин ; рук. работы Н. В. Латухина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. сист. - Самара, 2020. - on-lineru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 18,8 Мб)ru
dc.titleМоделирование процесса изготовления фоточувствительных структур на базе пористого кремнияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.29ru
dc.subject.udc539.1ru
dc.textpartГрафитовый изолированный контейнер, в котором находиись горизонтально установленные подложки кремния, обеспечивал равномерный тем- пературный режим. Такое решение позволяло проводить однородный поток газа по всем подложкам. Смесь углеводород...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Шишкин_Иван_Александрович_Моделирование_процесса_изготовления_фоточувствительных.pdf19.25 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.