Отрывок: 3 Расчёт коэффициента вторичной электронной эмиссии Выход электронов из металла обуславливается передачей положительными ионами их кинетической энергии кристаллической решётке. Это взаимодействие рассматривается, как местное, длящееся очень короткое время, разогревание металла. Коэффициент вторичной электронной эмиссии вычисляется по формуле:   (2.21) , exp 2 1 4 2                                        eff p f eff p eff p e p M...
Название : Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния
Авторы/Редакторы : Ондырбаев Н. М.
Колпаков В. А.
Ивлиев Н. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Ондырбаев, Н. М. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния : вып. квалификац. работа по спец. "Конструирование и технология электронных средств" / Н. М. Ондырбаев ; рук. работы В. А. Колпаков; рец. Н. А. Ивлиев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
Аннотация : В данной работе приведено описание физико-математической модели процесса травления диоксида кремния в потоке частиц низкотемпературной плазмы высоковольтного газового разряда (НПВГР).
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180720153201
Ключевые слова: низкотемпературная плазма
плазмохимическое травление
диоксид кремния
физико-математические модели
структурная схема программы
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Ондырбаев_Нурболат_Мырзагелдыулы_МОДЕЛИРОВАНИЕ_МЕХАНИЗМОВ_ТРАВЛЕНИЯ_ЧАСТИЦАМИ.pdf1.83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.