Отрывок: 3 Расчёт коэффициента вторичной электронной эмиссии Выход электронов из металла обуславливается передачей положительными ионами их кинетической энергии кристаллической решётке. Это взаимодействие рассматривается, как местное, длящееся очень короткое время, разогревание металла. Коэффициент вторичной электронной эмиссии вычисляется по формуле:   (2.21) , exp 2 1 4 2                                        eff p f eff p eff p e p M...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorОндырбаев Н. М.ru
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorИвлиев Н. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialнизкотемпературная плазмаru
dc.coverage.spatialплазмохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialдиоксид кремнияru
dc.coverage.spatialфизико-математические моделиru
dc.coverage.spatialструктурная схема программыru
dc.creatorОндырбаев Н. М.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180720153201ru
dc.identifier.citationОндырбаев, Н. М. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния : вып. квалификац. работа по спец. "Конструирование и технология электронных средств" / Н. М. Ондырбаев ; рук. работы В. А. Колпаков; рец. Н. А. Ивлиев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractВ данной работе приведено описание физико-математической модели процесса травления диоксида кремния в потоке частиц низкотемпературной плазмы высоковольтного газового разряда (НПВГР).ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,8 Мб)ru
dc.titleМоделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремнияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.03ru
dc.subject.udc53.145ru
dc.textpart3 Расчёт коэффициента вторичной электронной эмиссии Выход электронов из металла обуславливается передачей положительными ионами их кинетической энергии кристаллической решётке. Это взаимодействие рассматривается, как местное, длящееся очень короткое время, разогревание металла. Коэффициент вторичной электронной эмиссии вычисляется по формуле:   (2.21) , exp 2 1 4 2                                        eff p f eff p eff p e p M...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Ондырбаев_Нурболат_Мырзагелдыулы_МОДЕЛИРОВАНИЕ_МЕХАНИЗМОВ_ТРАВЛЕНИЯ_ЧАСТИЦАМИ.pdf1.83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.