Отрывок: 3 Расчёт коэффициента вторичной электронной эмиссии Выход электронов из металла обуславливается передачей положительными ионами их кинетической энергии кристаллической решётке. Это взаимодействие рассматривается, как местное, длящееся очень короткое время, разогревание металла. Коэффициент вторичной электронной эмиссии вычисляется по формуле: (2.21) , exp 2 1 4 2 eff p f eff p eff p e p M...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ондырбаев Н. М. | ru |
dc.contributor.author | Колпаков В. А. | ru |
dc.contributor.author | Ивлиев Н. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | низкотемпературная плазма | ru |
dc.coverage.spatial | плазмохимическое травление | ru |
dc.coverage.spatial | диоксид кремния | ru |
dc.coverage.spatial | физико-математические модели | ru |
dc.coverage.spatial | структурная схема программы | ru |
dc.creator | Ондырбаев Н. М. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180720153201 | ru |
dc.identifier.citation | Ондырбаев, Н. М. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния : вып. квалификац. работа по спец. "Конструирование и технология электронных средств" / Н. М. Ондырбаев ; рук. работы В. А. Колпаков; рец. Н. А. Ивлиев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | В данной работе приведено описание физико-математической модели процесса травления диоксида кремния в потоке частиц низкотемпературной плазмы высоковольтного газового разряда (НПВГР). | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,8 Мб) | ru |
dc.title | Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.03 | ru |
dc.subject.udc | 53.145 | ru |
dc.textpart | 3 Расчёт коэффициента вторичной электронной эмиссии Выход электронов из металла обуславливается передачей положительными ионами их кинетической энергии кристаллической решётке. Это взаимодействие рассматривается, как местное, длящееся очень короткое время, разогревание металла. Коэффициент вторичной электронной эмиссии вычисляется по формуле: (2.21) , exp 2 1 4 2 eff p f eff p eff p e p M... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Ондырбаев_Нурболат_Мырзагелдыулы_МОДЕЛИРОВАНИЕ_МЕХАНИЗМОВ_ТРАВЛЕНИЯ_ЧАСТИЦАМИ.pdf | 1.83 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.