Отрывок: При движении внутри мишени налетающие ионы обычно сильно отклоняются от первоначального направления, при этом каждый ион будет иметь свою индивидуальную серию столкновений и, соответственно, индивидуальные координаты остановки. Таким образом, внедренная примесь распределится по глу...
Название : Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей
Авторы/Редакторы : Артемьев А. Ю.
Козлова И. Н.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2021
Библиографическое описание : Артемьев, А. Ю. Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Ю. Артемьев ; рук. работы И. Н. Козлова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2021. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является кремниевая подложка дырочного типа проводимости марки КДБ 2 с удельным сопротивлением 2 Ом*см Цель работы – разработка физико-математической модели процесса ионной имплантации для рассчёта концентрационных профилей и глубин залегания p-n переходов. В процессе работы использована теория Линдхарда, Шарфа и Шиотта. В результате работы определено, что большинство концентрационных профилей в аморфных и кристаллических мишенях имеют ассиметричный график. Эффективность работы заключается в определении значений нормального пробега иона и среднеквадратичного отклонения, на основании которых происходит построение графиков распределения примеси.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914094807
Ключевые слова: диффузионное перераспределение
ионная имплантация
ионно-имплантированные примеси
концентрационный профиль
пробег иона
распределение примесей
распределения Гаусса
твердые мишени
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Артемьев_Артем_Юрьевич_Моделирование_диффузионного_перераспределения_ионно.pdf1.22 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.