Отрывок: При движении внутри мишени налетающие ионы обычно сильно отклоняются от первоначального направления, при этом каждый ион будет иметь свою индивидуальную серию столкновений и, соответственно, индивидуальные координаты остановки. Таким образом, внедренная примесь распределится по глу...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАртемьев А. Ю.ru
dc.contributor.authorКозлова И. Н.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialдиффузионное перераспределениеru
dc.coverage.spatialионная имплантацияru
dc.coverage.spatialионно-имплантированные примесиru
dc.coverage.spatialконцентрационный профильru
dc.coverage.spatialпробег ионаru
dc.coverage.spatialраспределение примесейru
dc.coverage.spatialраспределения Гауссаru
dc.coverage.spatialтвердые мишениru
dc.creatorАртемьев А. Ю.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914094807ru
dc.identifier.citationАртемьев, А. Ю. Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Ю. Артемьев ; рук. работы И. Н. Козлова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является кремниевая подложка дырочного типа проводимости марки КДБ 2 с удельным сопротивлением 2 Ом*см Цель работы – разработка физико-математической модели процесса ионной имплантации для рассчёта концентрационных профилей и глубин залегания p-n переходов. В процессе работы использована теория Линдхарда, Шарфа и Шиотта. В результате работы определено, что большинство концентрационных профилей в аморфных и кристаллических мишенях имеют ассиметричный график. Эффективность работы заключается в определении значений нормального пробега иона и среднеквадратичного отклонения, на основании которых происходит построение графиков распределения примеси.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,2 Мб)ru
dc.titleМоделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесейru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti67.09.05ru
dc.subject.udc620.22ru
dc.textpartПри движении внутри мишени налетающие ионы обычно сильно отклоняются от первоначального направления, при этом каждый ион будет иметь свою индивидуальную серию столкновений и, соответственно, индивидуальные координаты остановки. Таким образом, внедренная примесь распределится по глу...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Артемьев_Артем_Юрьевич_Моделирование_диффузионного_перераспределения_ионно.pdf1.22 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.