Отрывок: 31 ЗАКЛЮЧЕНИЕ Таким образом, нами была построена модель засветки слоя фоторезиста лазерным пучком с гауссовым распределением интенсивности, сфокусированным одиночной линзой и получены результаты работы этой модели с различными входными параметрами. Также была реализована модель процесса записи микрорельефа, основанного на технологии КЛЗС. При записи смещённым и наполовину перекрытым пучками удалось существенно уменьшить наклон вертикаль...
Название : Метод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучка
Авторы/Редакторы : Титаев О. А.
Скиданов Р. В.
Суханов С. В.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Титаев, О. А. Метод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучка : вып. квалификац. работа по направлению подгот. (уровень бакалавриата) "Прикладная математика и информатика" / О. А. Титаев ; рук. работы Р. В. Скиданов ; нормоконтролер С. В. Суханов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, мат. и. - Самаpа, 2018. - on-line
Аннотация : Цель работы – исследование возможности использования записи смещенным лазерным пучком в лазерной фотолитографии вертикальных стенок гармонических линз.В настоящей работе будет предложена математическая модель записи лазерным пучком микрорельефа по фоторезисту. В процессе выполнения данной работы разработана программная реализация математической модели, проведены вычислительные эксперименты и получены изображения элементов микрорельефа, записанные статическим и динамическими записывающими оптическими системами. Разработка программного обеспечения выполнялась на языке С++. В качестве среды разработки использовалась Borland Turbo C++ с использованием стандартных библиотек. Операционная система Windows 10.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180907151931
Ключевые слова: гармоническая линза
круговая лазерная записывающая система
симметричная структура
запись смешанным пучком
лазерная фотолитография
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Титаев_Олег_Андреевич_Метод_записи_рельефа_гармонических.pdf1.84 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.