Отрывок: 31 ЗАКЛЮЧЕНИЕ Таким образом, нами была построена модель засветки слоя фоторезиста лазерным пучком с гауссовым распределением интенсивности, сфокусированным одиночной линзой и получены результаты работы этой модели с различными входными параметрами. Также была реализована модель процесса записи микрорельефа, основанного на технологии КЛЗС. При записи смещённым и наполовину перекрытым пучками удалось существенно уменьшить наклон вертикаль...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorТитаев О. А.ru
dc.contributor.authorСкиданов Р. В.ru
dc.contributor.authorСуханов С. В.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialгармоническая линзаru
dc.coverage.spatialкруговая лазерная записывающая системаru
dc.coverage.spatialсимметричная структураru
dc.coverage.spatialзапись смешанным пучкомru
dc.coverage.spatialлазерная фотолитографияru
dc.creatorТитаев О. А.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180907151931ru
dc.identifier.citationТитаев, О. А. Метод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучка : вып. квалификац. работа по направлению подгот. (уровень бакалавриата) "Прикладная математика и информатика" / О. А. Титаев ; рук. работы Р. В. Скиданов ; нормоконтролер С. В. Суханов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, мат. и. - Самаpа, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractЦель работы – исследование возможности использования записи смещенным лазерным пучком в лазерной фотолитографии вертикальных стенок гармонических линз.В настоящей работе будет предложена математическая модель записи лазерным пучком микрорельефа по фоторезисту. В процессе выполнения данной работы разработана программная реализация математической модели, проведены вычислительные эксперименты и получены изображения элементов микрорельефа, записанные статическим и динамическими записывающими оптическими системами. Разработка программного обеспечения выполнялась на языке С++. В качестве среды разработки использовалась Borland Turbo C++ с использованием стандартных библиотек. Операционная система Windows 10.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,8 Мб)ru
dc.titleМетод записи рельефа гармонических линз на основе использования фазовой коррекции записывающего пучкаru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti50.01ru
dc.subject.udc004.9ru
dc.textpart31 ЗАКЛЮЧЕНИЕ Таким образом, нами была построена модель засветки слоя фоторезиста лазерным пучком с гауссовым распределением интенсивности, сфокусированным одиночной линзой и получены результаты работы этой модели с различными входными параметрами. Также была реализована модель процесса записи микрорельефа, основанного на технологии КЛЗС. При записи смещённым и наполовину перекрытым пучками удалось существенно уменьшить наклон вертикаль...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Титаев_Олег_Андреевич_Метод_записи_рельефа_гармонических.pdf1.84 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.