Отрывок: Принцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци...
Название : | Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров |
Авторы/Редакторы : | Калинина Ю. М. Паранин В. Д. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Калинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807153711 |
Ключевые слова: | магнетронное распыление спектрофотометрия многослойный оптический фильтр |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Калинина_Юлия_Михайловна_Исследование_технологии_создания_многослойных.pdf | 2.47 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.