Отрывок: Принцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци...
Название : Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров
Авторы/Редакторы : Калинина Ю. М.
Паранин В. Д.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Калинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : Объектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807153711
Ключевые слова: магнетронное распыление
спектрофотометрия
многослойный оптический фильтр
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Калинина_Юлия_Михайловна_Исследование_технологии_создания_многослойных.pdf2.47 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.