Отрывок: Принцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Калинина Ю. М. | ru |
dc.contributor.author | Паранин В. Д. | ru |
dc.contributor.author | Саноян А. Г. | ru |
dc.contributor.author | Минобрнауки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное распыление | ru |
dc.coverage.spatial | спектрофотометрия | ru |
dc.coverage.spatial | многослойный оптический фильтр | ru |
dc.creator | Калинина Ю. М. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807153711 | ru |
dc.identifier.citation | Калинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,4 Мб) | ru |
dc.title | Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | Принцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Калинина_Юлия_Михайловна_Исследование_технологии_создания_многослойных.pdf | 2.47 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.