Отрывок: Принцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКалинина Ю. М.ru
dc.contributor.authorПаранин В. Д.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинобрнауки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialмагнетронное распылениеru
dc.coverage.spatialспектрофотометрияru
dc.coverage.spatialмногослойный оптический фильтрru
dc.creatorКалинина Ю. М.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190807153711ru
dc.identifier.citationКалинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,4 Мб)ru
dc.titleИсследование технологии создания многослойных оптических фильтровru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartПринцип действия реактивного распыления похож на метод магнетронного распыления. При реактивном ионном распылении в рабочую камеру вместе с рабочим газом добавляют реакци...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Калинина_Юлия_Михайловна_Исследование_технологии_создания_многослойных.pdf2.47 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.