Отрывок: Сначала нужно рассмотреть процессы образования химических соединений, которые происходят на поверхности мишени в плазме магнетронного разряда. Было установлено, что на поверхности мишени зачастую образуется диэлектрическая плёнка (в основном нитрид или оксид металла), которая затрудняет процесс распыления атомов мишени на подложку и изменяет эмиссионные...
Название : Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Федичкин А. П.
Харитонов С. И.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Федичкин, А. П. Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. П. Федичкин ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники,. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами реактивного магнетронного напыления.Цель работы – отработать технологию получения пленок Si3N4, Al2O3, TiO2 методом реактивного магнетронного распыления на установке ЭТНА-100МТ.Рассмотрены достоинства и недостатки метода напыления диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного распыления. Исследованы влияния технологических параметров реактивного магнетронного распыления на качество диэлектрического покрытия. Был получен и исследован ряд диэлектрических покрытий, состоящий из соединений: Al2O3, Si3N4, TiO2.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103833
Ключевые слова: Lift-Off процессы
коэффициент поглощения
реактивное магнетронное распыление
показатель преломления
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Федичкин_Александр_Павлович_Исследование_технологии_получения_диэлектрических.pdf2.89 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.