Отрывок: Сначала нужно рассмотреть процессы образования химических соединений, которые происходят на поверхности мишени в плазме магнетронного разряда. Было установлено, что на поверхности мишени зачастую образуется диэлектрическая плёнка (в основном нитрид или оксид металла), которая затрудняет процесс распыления атомов мишени на подложку и изменяет эмиссионные...
Название : | Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Федичкин А. П. Харитонов С. И. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Федичкин, А. П. Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. П. Федичкин ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники,. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами реактивного магнетронного напыления.Цель работы – отработать технологию получения пленок Si3N4, Al2O3, TiO2 методом реактивного магнетронного распыления на установке ЭТНА-100МТ.Рассмотрены достоинства и недостатки метода напыления диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного распыления. Исследованы влияния технологических параметров реактивного магнетронного распыления на качество диэлектрического покрытия. Был получен и исследован ряд диэлектрических покрытий, состоящий из соединений: Al2O3, Si3N4, TiO2. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103833 |
Ключевые слова: | Lift-Off процессы коэффициент поглощения реактивное магнетронное распыление показатель преломления |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Федичкин_Александр_Павлович_Исследование_технологии_получения_диэлектрических.pdf | 2.89 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.