Отрывок: 2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический...
Название : | Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления |
Авторы/Редакторы : | Старикова О. В. Паранин В. Д. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Старикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | В данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807154536 |
Ключевые слова: | реактивное распыление эллипсометрия вакуум антиотражающее покрытие коэффициент отражения магнетронное напыление просветляющее покрытие спектроскопия |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf | 2.28 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.