Отрывок: 2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Старикова О. В. | ru |
dc.contributor.author | Паранин В. Д. | ru |
dc.contributor.author | Саноян А. Г. | ru |
dc.contributor.author | Минобрнауки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | реактивное распыление | ru |
dc.coverage.spatial | эллипсометрия | ru |
dc.coverage.spatial | вакуум | ru |
dc.coverage.spatial | антиотражающее покрытие | ru |
dc.coverage.spatial | коэффициент отражения | ru |
dc.coverage.spatial | магнетронное напыление | ru |
dc.coverage.spatial | просветляющее покрытие | ru |
dc.coverage.spatial | спектроскопия | ru |
dc.creator | Старикова О. В. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807154536 | ru |
dc.identifier.citation | Старикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line | ru |
dc.description.abstract | В данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,2 Мб) | ru |
dc.title | Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 55.22 | ru |
dc.subject.udc | 621.793.7 | ru |
dc.textpart | 2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf | 2.28 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.