Отрывок: 2 Нанесение тонких пленок с помощью жидких растворов  Золь - гель метод. Метод золь - гель технологии основан на реакции гидролиза ряда органических и неорганических соединений в спиртовых растворах в присутствии незначительного количества воды. Гидролиз частично протекает в растворе с образованием прозрачных, устойчивых во времени золей и завершается в тонком слое на поверхности стекла с выделением нерастворимых оксидных соединений в виде прозрачных слоѐв геля [11]. Технологический...
Название : Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Старикова О. В.
Паранин В. Д.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Старикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : В данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190807154536
Ключевые слова: реактивное распыление
эллипсометрия
вакуум
антиотражающее покрытие
коэффициент отражения
магнетронное напыление
просветляющее покрытие
спектроскопия
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf2.28 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.