Отрывок: 16 Рисунок 4 - Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау 3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании 3.1 Жидкостное травление Жидкостное травление имеет ряд недостатков. Прежде всего в таком течении доводится иметь дело с разнообразными вредоносными химически активными веществами. Произ...
Название : Исследование параметров сухого изотропного травления кремния
Авторы/Редакторы : Федоренко А. В.
Харитонов С. И.
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Дата публикации : 2021
Библиографическое описание : Федоренко, А. В. Исследование параметров сухого изотропного травления кремния : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. В. Федоренко ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатик. - Самара, 2021. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марок ФП-3520 и ФП-051-КИ.Цель работы – экспериментально определить зависимость скоростисухого изотропного травления кремния от параметров процесса травления.В результате работы был произведен обзор литературы, а именнометодов литографии, травления, измерения глубины травления. Былипроизведены литографические процессы, травление кремния через маскиреактивно-ионным методом. Проведен анализ полученных данных. Былиисследованы параметры сухого изотропного травления кремния.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров реактивно-ионного процесса при измененииглобальных параметров: давление в камере, ICP мощность, процент открытойплощади, температура подложки; параметров шага травления: расход SF 6 ,напряжение смещения, время травления и параметров осаждения: расход C 4 F 8 ,напряжение смещения, время осаждения.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914145910
Ключевые слова: интерферометрия белого света
скорость травления
сухое изотропное травление кремния
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Федоренко_Алексей_Владимирович_Исследование_параметров_сухого_изотропного.pdf1.31 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.