Отрывок: 16 Рисунок 4 - Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау 3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании 3.1 Жидкостное травление Жидкостное травление имеет ряд недостатков. Прежде всего в таком течении доводится иметь дело с разнообразными вредоносными химически активными веществами. Произ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorФедоренко А. В.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.coverage.spatialинтерферометрия белого светаru
dc.coverage.spatialскорость травленияru
dc.coverage.spatialсухое изотропное травление кремнияru
dc.creatorФедоренко А. В.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914145910ru
dc.identifier.citationФедоренко, А. В. Исследование параметров сухого изотропного травления кремния : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. В. Федоренко ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатик. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марок ФП-3520 и ФП-051-КИ.Цель работы – экспериментально определить зависимость скоростисухого изотропного травления кремния от параметров процесса травления.В результате работы был произведен обзор литературы, а именнометодов литографии, травления, измерения глубины травления. Былипроизведены литографические процессы, травление кремния через маскиреактивно-ионным методом. Проведен анализ полученных данных. Былиисследованы параметры сухого изотропного травления кремния.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров реактивно-ионного процесса при измененииглобальных параметров: давление в камере, ICP мощность, процент открытойплощади, температура подложки; параметров шага травления: расход SF 6 ,напряжение смещения, время травления и параметров осаждения: расход C 4 F 8 ,напряжение смещения, время осаждения.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,3 Мб)ru
dc.titleИсследование параметров сухого изотропного травления кремнияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.03ru
dc.subject.udc621.794.4ru
dc.textpart16 Рисунок 4 - Схематическое изображение интерференционного микроскопа с объективом Мирау 3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании 3.1 Жидкостное травление Жидкостное травление имеет ряд недостатков. Прежде всего в таком течении доводится иметь дело с разнообразными вредоносными химически активными веществами. Произ...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Федоренко_Алексей_Владимирович_Исследование_параметров_сухого_изотропного.pdf1.31 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.