Отрывок: 2.3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании Технологии травления можно разделить на две группы: жидкостное (влажное) и сухое. 2.3.1 Жидкостное травление В зависимости от вида материала, состава травителя и условий травления принято различать два механизма жидкостного травления: электрохимический и химический. 24 ...
Название : | Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок |
Авторы/Редакторы : | Гзиришвили Н. Г. Харитонов С. И. Шишкина Д. А. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Гзиришвили, Н. Г. Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. Г. Гзиришвили ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информати. - Самара, 2021. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования является сухое травление кремния черезтвердые маски алюминия и хрома.Цель работы – исследование особенностей и селективности сухоготравления кремния с использованием твердых масок.В ходе выполнения работы были исследованы возможные методынанесения тонкопленочного покрытия; исследованы методы травлениякремния; исследованы способы измерения глубины травления. Проведенасерия экспериментов по нанесению маскирующего покрытия методоммагнетронного распыления и травлению пластин кремния методом Bosch-процесса. Сделан анализ полученных экспериментальных данных.Определена селективность и особенности исследуемых тонкопленочныхпокрытий.Практический результат работы состоит в выявлении особенностей иселективности сухого травления кремния с использованием твердых масок сцелью дальнейшего определения оптимальной толщины маски длявыполнения травления в заданных условиях на заданную глубину. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914151233 |
Ключевые слова: | BOSCH процессы интерферометрия белого света магнетронное распыление плазмохимическое травление сухое травление кремния твердые маски фотолитография |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Гзиришвили_Николай_Георгиевич_Исследование_особенностей_селективности.pdf | 5.08 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.