Отрывок: 2.3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании Технологии травления можно разделить на две группы: жидкостное (влажное) и сухое. 2.3.1 Жидкостное травление В зависимости от вида материала, состава травителя и условий травления принято различать два механизма жидкостного травления: электрохимический и химический. 24 ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГзиришвили Н. Г.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorШишкина Д. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialBOSCH процессыru
dc.coverage.spatialинтерферометрия белого светаru
dc.coverage.spatialмагнетронное распылениеru
dc.coverage.spatialплазмохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialсухое травление кремнияru
dc.coverage.spatialтвердые маскиru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.creatorГзиришвили Н. Г.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914151233ru
dc.identifier.citationГзиришвили, Н. Г. Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. Г. Гзиришвили ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информати. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является сухое травление кремния черезтвердые маски алюминия и хрома.Цель работы – исследование особенностей и селективности сухоготравления кремния с использованием твердых масок.В ходе выполнения работы были исследованы возможные методынанесения тонкопленочного покрытия; исследованы методы травлениякремния; исследованы способы измерения глубины травления. Проведенасерия экспериментов по нанесению маскирующего покрытия методоммагнетронного распыления и травлению пластин кремния методом Bosch-процесса. Сделан анализ полученных экспериментальных данных.Определена селективность и особенности исследуемых тонкопленочныхпокрытий.Практический результат работы состоит в выявлении особенностей иселективности сухого травления кремния с использованием твердых масок сцелью дальнейшего определения оптимальной толщины маски длявыполнения травления в заданных условиях на заданную глубину.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 5,0 Мб)ru
dc.titleИсследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масокru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.03ru
dc.subject.udc621.794.4ru
dc.textpart2.3 Процессы травления и их применение в микроструктурировании Технологии травления можно разделить на две группы: жидкостное (влажное) и сухое. 2.3.1 Жидкостное травление В зависимости от вида материала, состава травителя и условий травления принято различать два механизма жидкостного травления: электрохимический и химический. 24 ...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гзиришвили_Николай_Георгиевич_Исследование_особенностей_селективности.pdf5.08 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.