Отрывок: Состав пленок, полученных методом распыления, соответствует составу мишени; некоторое различие в составе возможно из-за разной массы и скорости движения атомов разных элементов, однако этот фактор легко устраняется путем оптимизации состава мишени. В испарительных методах из-за разницы значений теплоты испарения разных элементов состав пленки может отклоняться от состава испаряемого материала. При распылении взаимное расположение мишени и подложки может быть прои...
Название : Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения
Авторы/Редакторы : Семенов А. С.
Харитонов С. И.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Семенов, А. С. Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Семенов ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : Объектом исследования являются методы получения металлических функциональных покрытий.Цель работы – получение микрорельефа в медной пленке методом гальванического осаждения.В ходе выполнения работы были исследованы экспериментальные образцы подложек из
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102137
Ключевые слова: резистивное испарение
магнетронное распыление
литография
электролит
гальваническое осаждение
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Семенов_Алексей_Сергеевич_Формирование_микрорельефа_медных.pdf1.72 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.