Отрывок: Состав пленок, полученных методом распыления, соответствует составу мишени; некоторое различие в составе возможно из-за разной массы и скорости движения атомов разных элементов, однако этот фактор легко устраняется путем оптимизации состава мишени. В испарительных методах из-за разницы значений теплоты испарения разных элементов состав пленки может отклоняться от состава испаряемого материала. При распылении взаимное расположение мишени и подложки может быть прои...
Название : | Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения |
Авторы/Редакторы : | Семенов А. С. Харитонов С. И. Саноян А. Г. Минобрнауки России Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Семенов, А. С. Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Семенов ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования являются методы получения металлических функциональных покрытий.Цель работы – получение микрорельефа в медной пленке методом гальванического осаждения.В ходе выполнения работы были исследованы экспериментальные образцы подложек из |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102137 |
Ключевые слова: | резистивное испарение магнетронное распыление литография электролит гальваническое осаждение |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Семенов_Алексей_Сергеевич_Формирование_микрорельефа_медных.pdf | 1.72 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.