Отрывок: Состав пленок, полученных методом распыления, соответствует составу мишени; некоторое различие в составе возможно из-за разной массы и скорости движения атомов разных элементов, однако этот фактор легко устраняется путем оптимизации состава мишени. В испарительных методах из-за разницы значений теплоты испарения разных элементов состав пленки может отклоняться от состава испаряемого материала. При распылении взаимное расположение мишени и подложки может быть прои...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСеменов А. С.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинобрнауки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialрезистивное испарениеru
dc.coverage.spatialмагнетронное распылениеru
dc.coverage.spatialлитографияru
dc.coverage.spatialэлектролитru
dc.coverage.spatialгальваническое осаждениеru
dc.creatorСеменов А. С.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102137ru
dc.identifier.citationСеменов, А. С. Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Семенов ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования являются методы получения металлических функциональных покрытий.Цель работы – получение микрорельефа в медной пленке методом гальванического осаждения.В ходе выполнения работы были исследованы экспериментальные образцы подложек изru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,7 Мб)ru
dc.titleФормирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осажденияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.22ru
dc.subject.udc621.357ru
dc.textpartСостав пленок, полученных методом распыления, соответствует составу мишени; некоторое различие в составе возможно из-за разной массы и скорости движения атомов разных элементов, однако этот фактор легко устраняется путем оптимизации состава мишени. В испарительных методах из-за разницы значений теплоты испарения разных элементов состав пленки может отклоняться от состава испаряемого материала. При распылении взаимное расположение мишени и подложки может быть прои...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Семенов_Алексей_Сергеевич_Формирование_микрорельефа_медных.pdf1.72 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.