Отрывок: Формула для определения N выглядит следующим образом: 𝑁 = 𝑛 − 𝑖𝑘, (2) где n – показатель преломления; i – мнимая единица; k – показатель поглощения. Интенсивность светового потока I, пропорциональна квадрату амплитудного значения вектора напряженности электрического поля, и связана с начальным значением интенсивности, согласно закону Бугера – Ламбе...
Название : Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия
Авторы/Редакторы : Бабкин Е. Н.
Паранин В. Д.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Бабкин, Е. Н. Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Н. Бабкин ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : В работе рассматриваются технологии напыления тонких пленок оптических покрытий, спектральные характеристики и методы их получения и анализа. Цель работы – исследование характеристик тонких пленок алюминия, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология магнетронного напыления тонких пленок алюминия на вакуумной установке ЭТНА-100-МТ. С помощью интерферометра Microscope WLI определены толщины изготовленных пленок алюминия, равные 11; 19 нм. С использованием электронного микроскопа Carl Zeiss SUPRA 25-30-85 исследована сплошность и целостность пленок. Измерены спектральные характеристики пропускания и отражения на спектрофотометре Shimadzu UV-2450 в диапазоне 400 – 750 нм. Измерено сопротивление образцов размером 76х25 мм, равное 349 Ом, 356 Ом для толщины 11 нм; 117 Ом, 114,9 Ом для толщины 19 нм.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103655
Ключевые слова: магнетронное напыление
электронная микроскопия
тонкие пленки алюминия
спектральные характеристики
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Бабкин_Евгений_Николаевич_Экспериментальное_исследование_характеристик_тонких.pdf2.44 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.