Отрывок: В дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают...
Название : | Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем |
Авторы/Редакторы : | Никифоров М. В. Платонов В. И. Новикова Е. А. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Естественнонаучный институт |
Дата публикации : | 2019 |
Библиографическое описание : | Никифоров, М. В. Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем : вып. квалификац. работа по направлению подготовки "Наноинженерия" (уровень бакалавриата) / М. В. Никифоров ; рук. работы В. И. Платонов; нормоконтролер Е. А. Новикова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. - Самаpа, 2019. - on-line |
Аннотация : | Целью выпускной квалификационной работы является сравнительное исследование термохимических детекторов проволочного и интегрального типов в условиях газовой хроматографии. В результате проведенной работы были определены среднеквадратичные отклонения по величинам площадей, высот и времен удерживания хроматографических пиков для термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: среднее отклонение по площади пика 0,46% для проволочного и 0,56% для интегрального. Проведено исследование пределов детектирования термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: чувствительность для ТХД 4,7×10 11 г/см3, а для МТХД 5×10 11 г/ см3. Проведено сравнительное исследование инерционности термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: у МТХД фактор разрешения метан/этан и изобутан/бутан больше, чем на ТХД соответственно на 4,8% и на 16,2%. Расчетные эффективности разделения веществ на МТХД оказались выше, чем на ТХД на 1,7 17,4%. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190806110901 |
Ключевые слова: | детекторы сенсоры газовая хроматография МЭМС - датчики микродетекторы термохимический детектор (ТХД) |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Никифоров_Максим_Владиславович_Детектор_газовой_хроматографии.pdf | 1.66 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.