Отрывок: В дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Никифоров М. В. | ru |
dc.contributor.author | Платонов В. И. | ru |
dc.contributor.author | Новикова Е. А. | ru |
dc.contributor.author | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Естественнонаучный институт | ru |
dc.coverage.spatial | детекторы | ru |
dc.coverage.spatial | сенсоры | ru |
dc.coverage.spatial | газовая хроматография | ru |
dc.coverage.spatial | МЭМС - датчики | ru |
dc.coverage.spatial | микродетекторы | ru |
dc.coverage.spatial | термохимический детектор (ТХД) | ru |
dc.creator | Никифоров М. В. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190806110901 | ru |
dc.identifier.citation | Никифоров, М. В. Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем : вып. квалификац. работа по направлению подготовки "Наноинженерия" (уровень бакалавриата) / М. В. Никифоров ; рук. работы В. И. Платонов; нормоконтролер Е. А. Новикова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. - Самаpа, 2019. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Целью выпускной квалификационной работы является сравнительное исследование термохимических детекторов проволочного и интегрального типов в условиях газовой хроматографии. В результате проведенной работы были определены среднеквадратичные отклонения по величинам площадей, высот и времен удерживания хроматографических пиков для термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: среднее отклонение по площади пика 0,46% для проволочного и 0,56% для интегрального. Проведено исследование пределов детектирования термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: чувствительность для ТХД 4,7×10 11 г/см3, а для МТХД 5×10 11 г/ см3. Проведено сравнительное исследование инерционности термохимических детекторов проволочного и интегрального типов: у МТХД фактор разрешения метан/этан и изобутан/бутан больше, чем на ТХД соответственно на 4,8% и на 16,2%. Расчетные эффективности разделения веществ на МТХД оказались выше, чем на ТХД на 1,7 17,4%. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,6 Мб) | ru |
dc.title | Детектор для газовой хроматографии на основе микроэлектромеханических систем | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 31.19 | ru |
dc.subject.udc | 543.544 | ru |
dc.textpart | В дальнейшем, с помощью передовых технологий литографии, возможно еще сильнее уменьшить минимальные размеры таких массивов чувствительных элементов. При помощи 193 нм иммерсионной литографии потенциально возможно достичь разрешения 70-80 нм на 200 мм пластинах с 15 нм слоем. 1.3 Термохимические детекторы Термохимические датчики для газовых сенсоров широко используются с 60 годов прошлого века [18]. Известные термохимические детекторы обладают... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Никифоров_Максим_Владиславович_Детектор_газовой_хроматографии.pdf | 1.66 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.