Отрывок:
Название : | Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении |
Авторы/Редакторы : | Андреева Т. В. Павельев В. С. Моисеев О. Ю. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт электроники и приборостроения |
Дата публикации : | 2016 |
Библиографическое описание : | Андреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-line |
Аннотация : | Объектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника». |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20160912155743 |
Ключевые слова: | технология LIGA травление кремния фотолитография двухосевые виброгироскопы глубокое реактивное ионное травление виброгироскопы микроэлектромеханические системы (МЭМС) кремний-на-изоляторе |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf | 5.93 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.