Отрывок:
Название : Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении
Авторы/Редакторы : Андреева Т. В.
Павельев В. С.
Моисеев О. Ю.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт электроники и приборостроения
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Андреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-line
Аннотация : Объектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20160912155743
Ключевые слова: технология LIGA
травление кремния
фотолитография
двухосевые виброгироскопы
глубокое реактивное ионное травление
виброгироскопы
микроэлектромеханические системы (МЭМС)
кремний-на-изоляторе
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf5.93 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.