Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАндреева Т. В.ru
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorМоисеев О. Ю.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут электроники и приборостроенияru
dc.coverage.spatialтехнология LIGAru
dc.coverage.spatialтравление кремнияru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.coverage.spatialдвухосевые виброгироскопыru
dc.coverage.spatialглубокое реактивное ионное травлениеru
dc.coverage.spatialвиброгироскопыru
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системы (МЭМС)ru
dc.coverage.spatialкремний-на-изолятореru
dc.creatorАндреева Т. В.ru
dc.date.issued2016ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20160912155743ru
dc.identifier.citationАндреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника».ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 5,8 Мб)ru
dc.titleРазработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполненииru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.29ru
dc.subject.udc539.1ru
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf5.93 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.